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北陸電氣工業株式會社是MEMS三軸加速度領域的佼佼者、先行者；全球最小的三軸加速度傳感器的製造者。
2006年10月北陸電氣工業在亞洲最大規模的融合了影像、信息、通信技術的國際博覽會——日本電子高新科技博覽會CEATEC Japan上，推出了一款全球最小的三軸加速度傳感器，尺寸為3mm見方，1mm厚，並于10月開始向手機和硬盤生產商供貨，這是全球首次突破10mm3大關的產品。除減小了封裝體積外，還新增了分配輸出功能。當X軸、Y軸和Z軸的加速度均低於0.4g時，將檢測信號輸入“下落檢測”端子；當X軸、Y軸和Z軸的加速度均高于1.5g時，則將檢測信號輸入“衝擊檢測”端子，即可檢測出嵌入該傳感器模塊的設備是否運行異常。 耗電量方面，在工作頻率為500Hz的“模式A”下為0.7mA，在250MHz的“模式B”下為0.35mA（均為標準值）。工作電壓為＋2.2V～＋3.6V。
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目前，北陸3軸加速度傳感器已被用於計算機、筆記本電腦數碼攝像機、手機等各種便攜設備的硬盤存儲數據的保護（因為設備用戶處理的數據一旦受到破坏后便無法播放。所以，加大硬盤存儲數據的保護力度勢在必行，為此硬盤廠家希望能在硬盤中內置檢測下落的傳感器。如果能檢測到自由落體的話，就可以在設備落地之前將磁頭避開硬盤，避免磁頭破坏存儲介質。硬盤生產廠家要將3軸加速度傳感器置入硬盤的話，其最大體積不能超過10mm3，而以往傳感器的外形尺寸過大成為瓶頸，導致只有北陸電氣3軸加速度傳感器可用於：有內置3軸加速度傳感器進行硬盤存儲數據保護的硬盤）；手機(手機需要使用3軸加速度傳感器切換圖像縱橫顯示、作為遊戲的輸入接口等)；同時已被遊戲機(索尼公司遊戲機所用)及便攜式音樂播放器採用。預計在今年(2007年)，面向手機的市場也將在日本及海外進一步擴展。 目前北陸電氣三軸加速度傳感器全球銷售量已達到三百萬顆/每月.
| Item |
Rating |
Unit |
Note |
| Min |
Typ |
Max |
| Operating Condition |
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| Storage Temperature Range |
-40 |
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85 |
℃ |
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| Operating Temperature Range |
-25 |
|
75 |
℃ |
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| Supply Voltage |
2.2 |
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3.6 |
V |
Ratiometric |
| Supply Current |
|
0.7 |
1 |
mA |
at Mode A, Vdd=3.0V |
| |
0.35 |
0.5 |
at Mode B, Vdd=3.0V |
| Supply Current at Standby Mode |
|
1 |
5 |
uA |
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| Turn-on Time (at C=0.01µF) |
|
2 |
|
msec |
Until it becomes 99％ |
| Shock Resistance |
5000 |
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|
G |
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| Electrical Characteristics (Ta=25℃, Vdd=3.0V) |
|
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| Rated Acceleration |
-3 |
|
3 |
G |
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| Offset Voltage |
1.425 |
1.5 |
1.575 |
V |
Ratiometric against Supply Voltage |
| Offset Temperature Characteristics |
-10 |
|
10 |
%FS/G |
⊿ from 25℃ |
| Sensitivity |
297 |
330 |
363 |
mV/G |
Ratiometric against Supply Voltage |
| Linearity of sensitivity |
-1 |
|
1 |
%FS |
|
| Sensitivity Temperature Characteristics |
-3 |
|
3 |
%FS/G |
⊿ from 25℃ |
| Cross-Axis Sensitivity |
-5 |
|
5 |
% |
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| Resonant Frequency |
DC |
|
500 |
Hz |
at Mode A |
| |
250 |
at Mode B |
